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甲基三氯硅烷是一種有機化合物，分子式CH3Cl3Si。英文名methyltrichlorosilane；methyl silicochloroform ，縮寫為MTS；別名甲基硅仿、三氯甲基硅烷 ；外觀與性狀是無色液體，具有刺鼻惡臭，易潮解。

類別
易燃液體
毒性分級 中毒
急性毒性 口服-大鼠LD50:1000 毫克/公斤;吸入-小鼠LC50:2572 毫克/立方米/2小時
刺激數據 眼睛- 兔子 5 毫克 / 24小時 重度; 皮膚- 兔子 500 毫克/ 24 小時 輕度
爆炸物危險特性 與空氣混合可爆
可燃性危險特性 遇明火、強氧化劑可燃; 遇高溫或水分解出有毒氣體氯化氫
儲運特性 庫房通風低溫干燥; 與氧化劑、酸類分開存放
滅火劑 干粉、干砂、二氧化碳、泡沫、1211滅火劑
職業標準 TWA 705 毫克/ 立方米

物性數據
1.性狀：無色液體，具有刺鼻惡臭，易潮解。
2.熔點（℃）：-90
3.沸點（℃）：66.4
4.相對密度（水=1）：1.28
5.相對蒸氣密度（空氣=1）：5.2
6.飽和蒸氣壓（kPa）：17.9（20℃）
7.臨界壓力（MPa）：3.53
8.辛醇/水分配系數：2.01
9.閃點（℃）：-9（CC）；7.2（OC）
10.引燃溫度（℃）：490
11.爆炸上限（%）：11.9
12.爆炸下限（%）：7.2
13.溶解性：溶于苯、乙醚。

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