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1.分析控制與產(chǎn)品檢測(cè)要求高。制備電子級(jí)氫氟酸所應(yīng)用的測(cè)試儀器如下:(1)電感耦合等離子高頻質(zhì)譜分析儀(ICP-MS);(2)電感耦合等離子原子發(fā)射分析儀(ICP-AES);(3)原子吸收分光光度計(jì);(4)氧原子發(fā)生無焰原子吸收分析儀;(5)離子色譜分析儀;(6)激光散射液體微粒計(jì)數(shù)器;(7)水表面雜質(zhì)分析系統(tǒng);(8)原子間力顯微鏡;(9)光學(xué)顯微鏡微粒計(jì)數(shù)器;(10)掃描電子顯微鏡;(11)光學(xué)膜厚測(cè)定和表面仿形儀;(12)表面張力測(cè)定儀;(13)空氣中塵埃微粒測(cè)定儀;(14)水電阻率測(cè)定儀。
2.對(duì)水質(zhì)要求高,要求水的電阻率≥18.0MΩ·cm。
高純水是生產(chǎn)電子氫氟酸中不可缺少的原料,也是包裝容器的清洗劑,其純度將直接影響到電子級(jí)氫氟酸的產(chǎn)品質(zhì)量。高純水的主要控制指標(biāo)是電阻率和固體顆粒,其他輔助指標(biāo)有可氧化的總碳量(TOC)、細(xì)菌、被溶解的二氧化硅、離子濃度等。目前,高純水的生產(chǎn)工藝較為成熟,較常見是先通過離
子交換柱和微過濾器,得到普通純水,然后再采用反滲透、電滲析等各類膜技術(shù)進(jìn)一步處理,最后配合殺菌和超微過濾便可得到高純水。
3.對(duì)主要生產(chǎn)設(shè)備材料及設(shè)備制造技術(shù)、包裝技術(shù)的要求較為嚴(yán)格。
4.廠房、分析室、倉庫等環(huán)境潔凈度要求較高,與成品接觸部分要達(dá)到100級(jí)。
5.整個(gè)生產(chǎn)過程中對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量管理要求極高。

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